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Les lasers excimère

Les lasers excimère sont des lasers à gaz, pulsés, émettant un rayonnement ultra-violet. Le terme excimère désigne une molécule constituée de 2 atomes électroniquement excités afin de permettre la réaction chimique. Ces molécules, liant un atome de gaz halogène et un atome de gaz rare, n'existent évidemment pas à l'état naturel. On a donc recours à une décharge électrique très puissante pour réaliser cette réaction qui permet par ailleurs de parvenir à l'état excité à l'origine du rayonnement.
Ces lasers délivrent, en général, un faisceau de section rectangulaire présentant une répartition d'énergie quasi uniforme. Ce faisceau est généralement mis en forme par passage au travers d'un masque.